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一种可以不破坏样品用X射线激发样品而产生X射线荧光的分析方法。可对原子序数大于8的元素进行定性和定量分析。当高速电子激发原子内层电子，被逐出的内层电子空穴由较外层电子填充，电子从较高能态的外层跃迁到较低能态的内层时，释放能量，导致X射线的产生。这种X射线是初级X射线。如果以初级X射线作为激发手段，用来照射样品物质，那么这种物质立即会发出次级射线。这种由于X射线照射物质而产生的次级X射线称为X射线荧光。X射线荧光产生于原子内层电子的跃迁，它们是代表元素特征的谱线。根据X射线荧光的波长(或光子能量)可进行定性分析。根据X射线荧光的强度可进行定量分析。

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